美國(guó)Siargo MEMS 氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器 - MFC1600系列

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質(zhì)量流量，時(shí)域傳感技術(shù)
量程比100：1
壓力范圍0.1~0.8MPa
可測(cè)量多種氣體不需要特別修正
機(jī)械接口可定制
各種標(biāo)準(zhǔn)通訊選項(xiàng)可供選擇

產(chǎn)品型號(hào)：: MFC1600系列

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產(chǎn)品介紹

矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司（Siargo Ltd.）提供很好的MEMS流量傳感器技術(shù)及產(chǎn)品，以滿(mǎn)足客戶(hù)廣泛的應(yīng)用需求。本手冊(cè)為現(xiàn)有定型產(chǎn)品的使用說(shuō)明，矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司也能夠根據(jù)客戶(hù)的要求設(shè)計(jì)和定制產(chǎn)品。

美國(guó)Siargo MEMS 氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器 MFC1600系列 產(chǎn)品概述：

本產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)提供了MFC1600系列氣體質(zhì)量流量控制器的基本信息，可用于非腐蝕性氣體流量控制，涵蓋質(zhì)量流量50mLn/min~20Ln/min，可提供0~5VDC或4~20mA模擬信號(hào)控制，或RS485Modbus數(shù)字信號(hào)控制。本產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)包含性能指標(biāo)、機(jī)械尺寸、安裝及保修、客戶(hù)服務(wù)及訂貨等信息。
MFC1600質(zhì)量流量控制器的控制范圍可達(dá)100:1，可工作在0.1~0.8MPa，0~55℃，機(jī)械接口可選雙卡套、G螺紋或快擰接頭，并可定制其他機(jī)械接口。
MFC1600質(zhì)量流量控制器采用本公司專(zhuān)有的MEMS流量傳感芯片，集成了時(shí)域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場(chǎng)上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨(dú)特的時(shí)域流量傳感技術(shù)消除了一些常見(jiàn)氣體的敏感性。而對(duì)于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實(shí)現(xiàn)氣體識(shí)別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時(shí)域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線(xiàn)性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。
備注：mLn/min和Ln/min表示在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（0℃，101.325kPa）下的標(biāo)準(zhǔn)流量。

美國(guó)Siargo MEMS 氣體質(zhì)量流量控制器流量傳感器?MFC1600系列?產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆質(zhì)量流量，時(shí)域傳感技術(shù)
◆量程比100：1
◆壓力范圍0.1~0.8MPa
◆可測(cè)量多種氣體不需要特別修正
◆機(jī)械接口可定制

◆各種標(biāo)準(zhǔn)通訊選項(xiàng)可供選擇