美國Siargo 氣體質量流量計 MEMS流量傳感芯片 - MF3000系列
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質量流量，時域傳感技術
全量程覆蓋（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
可測量多種氣體不需要特別修正
多種輸出信號可選
支持多種連接方式，易于安裝與使用
產品介紹
美國Siargo 氣體質量流量計 MEMS流量傳感芯片 MF3000系列 描述：
MF3000系列氣體質量流量計采用旁路設計并使用本公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術和智能電子技術。與市場上傳統的量熱式流量傳感技術相比，這種獨特的時域流量傳感技術消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結合防水、防油納米涂層，產品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術還提供了更好的線性度，并使溫度效應大幅降低。
MF3000系列氣體質量流量計能直接測量氣體質量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF3000測量范圍覆蓋（O~2）SLPM到（O~1500）SLPM，大工作壓力提高到0.8MPa。MF3000提供多種信號輸出，通過RS485或IC數字通訊接口可實現遠程數據采集與設置，并可選擇NPN或PNP開關信號輸出。MF3000同時具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數。
美國Siargo 氣體質量流量計 MEMS流量傳感芯片 MF3000系列 產品特點：
質量流量，時域傳感技術全量程覆蓋（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精確度和優(yōu)良的重復性
可測量多種氣體不需要特別修正
多種輸出信號可選
支持多種連接方式，易于安裝與使用
美國Siargo 氣體質量流量計 MEMS流量傳感芯片 MF3000系列 參數：
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