美國Siargo FS8000系列微機電氣體質量流量傳感器 - FS8001/FS8003
流量范圍：0~500sccm
精度：± (2+0.5FS)%
重復性：?± 1.0
輸出方式：線性，模擬電壓0.5~4.5VD C（可選IC 數(shù)字信號輸出）
響應時間：10ms
工作溫度：0 ~ +55℃、
工作濕度：<95% RH （無結冰、無凝露）
產品介紹
一、FS8000系列微機電氣體質量流量傳感器產品簡介：
FS8000系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類工業(yè)過程控制而 設計的。產品有兩種測量范圍，螺紋接口易于安裝，可用于固晶機等多種工業(yè)設備。
二、FS8000系列微機電氣體質量流量傳感器產品特點:
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
響應速度快
低壓損
安裝方便
三、FS8000系列微機電氣體質量流量傳感器技術參數(shù)：
|
項目 |
FS8001 |
FS8003 |
單位 |
|
流量范圍 |
(0~500) sccm |
(0~6) SLPM |
|
|
精度 |
±(2. 0+0. 5FS) |
% |
|
|
重復性 |
±1. 0 |
% |
|
|
零點輸出漂移 |
±30 |
mV |
|
|
輸出漂移 |
±0. 12 |
% / ℃ |
|
|
響應時間 |
10 |
ms |
|
|
工作電源 |
8~24 |
VDC |
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|
輸出方式 |
線性，模擬電壓0.5~4.5VD C（可選IC 數(shù)字信號輸出） |
|
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|
Max工作壓力 |
0.3 |
MPa |
|
|
工作溫度 |
0 ~ +55 |
℃ |
|
|
儲存溫度 |
-20 ~ +65 |
℃ |
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|
工作濕度 |
<95% RH （無結冰、無凝露） |
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電氣接口 |
SM 05B-SRSS-TB (JST) |
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機械接口 |
M5螺孔 |
Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口) |
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標準方式 |
空氣（20℃，101.325kPa） |
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|
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