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氣體質(zhì)量流量控制器 - SFC5000系列

  • 氣體質(zhì)量流量控制器
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高精度和可重復性
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性
寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)
超快氣體流量控制(穩(wěn)定時間小于50毫秒)
多氣體、多量程可選和氣體識別功能
數(shù)字和模擬接口
靈活的機械接頭選項:鈑金式安裝、VCR和VCO,Swagelok、C-/W-Seal等。
校準可追溯至NIST標準
源于創(chuàng)新CMOSens? 技術(shù)的杰出價值
可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品

產(chǎn)品型號:
SFC5000系列
訂貨數(shù)量:

產(chǎn)品介紹

SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品描述

SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器有助于實現(xiàn)寬動態(tài)測量范圍內(nèi)極其精確和可重復的控制。氣體質(zhì)量流量控制器的出色性能基于Sensirion創(chuàng)新的CMOSens?技術(shù),它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號處理電路。在芯片上,傳感器信號被直接轉(zhuǎn)換成完全校準,帶溫度補償?shù)臄?shù)字信號。該質(zhì)量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外,它們實現(xiàn)了新的可選功能,如多氣體測量、氣體識別和自檢能力。SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器是整個工業(yè)和醫(yī)療市場各種應用的理想解決方案。

 

SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器特性

  • 高精度和可重復性

  • 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性

  • 寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)

  • 超快氣體流量控制(穩(wěn)定時間小于50毫秒)

  • 多氣體、多量程可選和氣體識別功能

  • 數(shù)字和模擬接口

  • 靈活的機械接頭選項:鈑金式安裝、VCR和VCO,Swagelok、C-/W-Seal等。

  • 校準可追溯至NIST標準

  • 源于創(chuàng)新CMOSens? 技術(shù)的杰出價值

  • 可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品


SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器應用領域

  • 分析儀器(如氣相色譜、質(zhì)譜)

  • 醫(yī)療設備(如呼吸機、麻醉)

  • 工業(yè)過程自動化(如涂層、熱處理)

  • 半導體行業(yè)(如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積)

 

 

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